ZrON?低溫溫度計(jì)
ZrON?低溫溫度計(jì)不僅具有靈敏度高、熱響應(yīng)快、工作溫區(qū)范圍大、熱循環(huán)重復(fù)特性好和機(jī)械強(qiáng)度高等特性,還具有低磁阻、耐輻照和年漂移量小等優(yōu)點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于低溫/超低溫系統(tǒng)、超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、加速器、對(duì)撞機(jī)、同步輻射源、先進(jìn)光源、中子源、高能物理、天文望遠(yuǎn)鏡、宇宙微波背景輻射探測(cè)和量子計(jì)算等領(lǐng)域。
ZrON?低溫溫度計(jì)的溫度傳感單元是磁控反應(yīng)濺射生長(zhǎng)的ZrON薄膜,通過調(diào)節(jié)磁控反應(yīng)濺射中氮氧化物比例和生長(zhǎng)溫度來調(diào)節(jié)ZrON薄膜的溫度響應(yīng)范圍,結(jié)合先進(jìn)的光刻技術(shù)和封裝工藝,能夠?qū)崿F(xiàn)從100mK-425K溫度范圍的全覆蓋。
ZrON?低溫溫度計(jì)有SD、Bobbin和Can三種標(biāo)準(zhǔn)封裝,根據(jù)阻值范圍和工作溫區(qū)的不同分為ZrON-10,ZrON-50,ZrON-70和ZrON-80四款,典型溫度準(zhǔn)確性:±5mK@1K;±5mK @4.2K,±15mK@77K,±50mK@300K。












